山东淄博某化工企业_低温等离子设备
产品信息
根据热力学状态的不同和中性气体温度的相对高低， 低温等离子体可分为热等离子体、冷等离子体和燃烧等离子体。热等离子体为局域热力学平衡（LTE）系统， 其特点是重粒子（原子、分子、离子等）的温度接近电子温度；而冷等离子体为非热力学平衡系统，其中重粒子的温度低于电子温度。不同低温等离子体工艺使用了惰性或化学活性气体，前者主要利用低温等离子体的物理特性，而后者中的化学反应过程在应用中占有相当重要的地位因此，由放电气体化学活性的不同，低温等离子体也可分为惰性和反应等离子体。
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