低温等离子体去除恶臭的最主要的反应可分为电子、离子、自由基及分子碰撞反应4 种。在电极间外加高压高频交变电流，表面生成微放电，同时诱导引发高电场，此高电场促 使放电空间中的自由电子加速，此时电子在该电场中将被加速而获得足够的能量（1～ 10eV),并与气体分子撞击进行激发、游离、解离、结合或再结合等反应，生成许多电子、 离子、介稳态粒子及自由基等高活性物种。
    常见的自由基如-OH、基态氧原子、亚稳态氧原子OGD)、H0₂，这些高能、高活性物种可克服能阶的障碍，使气流中原本相当 稳定的恶臭气体分子断键，促使气态反应快速进行。

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