有机废气处理设备的人口静压不能波动太大，否则轻则导致工艺设备的报警，重则导致芯片的报废，只能在 年度定期检修时可以考虑维持一定的静压。设计时必须考虑排风机的余量，排风机为变频风机。

    有机废气污染源分布广泛。为防止污染，除减少石油损耗、减少有机溶剂用量以减少有机废气的产生和排放 外，排气净化是目前切实可行的治理途径。常用的方法有吸附法、吸收法、催化燃烧法、热力燃烧法等。选 用净化方法时，应根据具体情况由县选用费用低、耗能少、无二次污染的方法，尽量做到化害为利，充分回 收利用成分和余热。

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