每个月应将等离子废气处理设备第一级电极组件抽出来全面清洗一次，视污垢附着程度，如果不太脏时可用高压水枪加 家用洗洁精喷洗或者用热水加入家用洗洁精泡洗。如果积垢比较严重，则可用重度1:25的烧碱与热水混合溶液泡洗较快 较彻底。

    清洗结束后应将电极架晾干进行中心校正后可装机使用。校正方法：将电极架如正常使用时放置，从电极架进气方向目 测，每个电极单元的中心发射管是否在接受管（外筒）中心，若目测偏移，可用直径10mm钢棒插入发射极进行调整，调 整时切记不可用力过大过猛，应逐渐加大调整力度。

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